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产品说明:
S 级产品是通过采用独特的氢氧焰熔融工艺对超高纯度合成硅粉进行熔融而制成。具有极高的纯度且完全不含杂质,被誉为半导体制造行业的升级换代材料。
ED-H 石英锭的原料为高纯度 SiCl4 ,采用VAD工艺生产制成。
其各项纯度指标均低于常规的检测极限 (10ppb),并且不含气泡和杂质。
ED-H 产品中 OH 含量小于 100ppm,在紫外线下具有优异的传输特性,非常适合于 170nm 以下的真空紫外线 (VUV) 用途。